1、制造TOPCon太阳能电池的第一步是通过使用氢氧化钾(KOH)去除c-Si晶片切割过程中的锯损伤来化学纹理化晶圆表面。
2、清洁晶圆后,使用扩散法通过施加三溴化硼(BBr)在电池正面形成,但随后通过施加硝酸和氢氟酸(HF/HNO)去除背面,并通过湿化学浸渍产生超薄氧化层。
3、为了生长nPoly-Si层,通过等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺生长磷掺杂的非晶硅(n-a-Si:H)层。然后在900C退火后将其转化为nPoly-Si层。+ +
4、进一步清洁太阳能电池,并通过PECVD施加钝化和涂层。
5、最后,通过丝网印刷将银/铝触点涂覆为金属化,使用最高温度为760C的快速烧制方法进行金属化。